美國ALICAT 20S系列抗腐蝕型質量流量計，采用內部補償型層流壓差技術，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運動。內置的絕壓和溫度傳感器充分補償因壓力和溫度引起的體積流量與質量流量間的差異，并對用戶標準工況進行修正。具有NIST可溯源校準證書。
可精確、快速測量腐蝕性氣體（如：NH3、H2S、SiH4等）的質量流量、體積流量、壓力和溫度，適用于多種流量測控場合。

應用及案例

 

● 大學/研究所

● 泄漏檢測

● 環境監測

● 真空行業及鍍膜

● 工業爐窯

● 半 導 體

● 汽車制造

● 計量校準

● 過程工藝氣體測量

產品特色

 

● 數字化產品

● 多參數顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

● 可選高精度：優于0.5%

● 量程可測比1%-100%

● 響應時間快，僅需10 ms

● 內置130種常規以及腐蝕性氣體

● 可現場標定混合氣體（最多5種成分），并存儲20種混合氣

● 可適用于諸多腐蝕性氣體

技術指標

 

介質要求    潔凈、干燥的氣體，腐蝕和非腐蝕性均可

介質種類    內置了130種氣體，請參考背面

                   一臺設備內置所有氣體，用戶可現場選擇

量       程     從0-0.5 SCCM   到   0-5000 SLPM（詳情請咨詢）

最大顯示流量    128 %滿量程

顯  示  屏    帶按鍵，標準為LCD顯示屏，可選TFT彩色顯示屏

顯示方式    同時顯示質量流量、體積流量、壓力、溫度

精       度    ±（0.8 %讀數 + 0.2 %滿量程）

高  精  度    ±（0.4 %讀數 + 0.2 %滿量程），選配

                   僅適用于量程為5 SCCM - 500 SLPM的設備

累計流量精度    流量精度之外增加±0.5%額外誤差

重  復  性    ± 0.2 %滿量程

質量流量零點和滿量程溫度漂移    0.02%滿量程/℃（從25℃開始）

質量流量零點和滿量程壓力漂移    ±（0.08% 讀數+ 0.02% 滿量程）

                  （從校準壓力開始）

響應時間    10 ms

預熱時間    ＜1 s

默認標況（STP）    25 ℃ & 1Atm（其它標況可調）

工作溫度    -10 ～ 60 ℃（可選高溫/低溫選項）

溫度精度    ±0.75℃

工作濕度    0 ～100 %，無冷凝

最大工作壓力    1 MPa  表壓

最低操作壓力    如果不做真空特殊標定，建議在絕壓80 KPaA以上使用； 

                其他真空壓力建議做特殊標定

壓力精度    ±0.5%滿量程

極限耐壓    1.1MPa  表壓，進出口最大瞬時壓差可為0.5 MPa

滿量程壓損    參考詳細壓損表

數據刷新頻率    數字信號40 Hz@ 19200波特率；

                模擬信號：1000 Hz

屏幕刷新頻率    10 Hz

數字輸出信號    RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、                    

                   Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus

模擬輸出信號    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

可選第二路模擬輸出    質量流量、體積流量、壓力、溫度

模擬信號精度    在基礎誤差上額外增加 ± 0.1 % 量程誤差

供電電壓     9 - 24VDC （如選4 - 20 mA輸出，須為12 - 24 VDC ）

供電電流     40 mA （+ 40 mA輸出電流在 4-20 mA 或0-10VDC）

電氣接口    DB9M，可選DB15、6針工業接頭、8針Mini-DIN等

泄漏率（外漏）    選擇HLC選項，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He

材       質     316L不銹鋼、FFKM（標準)

                   可根據特殊氣體選用FKM、EPDM、Buna

過程連接    詳情參考壓損表

安裝方式    對位置無要求

防護等級    IP40

認       證    ISO 9001、NIST溯源認證、CE、RoHS、REACH聲明、CSA（可選）

尺寸詳圖

 

                              

尺寸壓損

 

滿量程質量流量計	滿量程壓損1（psid） 排氣到大氣中	機械尺寸	管道連接接口2
0.5 sccm - 1 sccm	1.0	4.4''H ×2.4''W ×1.1''D	M-5 （10-32）（內螺紋） （Buna-N表面密封至1/8''NPT內）
2 sccm - 50 sccm	1.0
100 sccm - 20 slpm	1.0	4.6''H ×2.4''W ×1.1''D	1/8''NPT內螺紋
50 slpm	2.0	5.1''H ×4.0''W ×1.6''D	1/4''NPT內螺紋
100 slpm	2.5
250 slpm	2.1	5.7''H ×4.0''W ×1.6''D	1/2''NPT內螺紋
500 slpm	4.0	5.7''H ×4.0''W ×1.6''D	3/4''NPT內螺紋 （2000 SLPM 可選配1-1/4''NPT內螺紋）
1000 slpm	6.0
1500 slpm	9.0	6.0''H ×5.2''W ×2.9''D
2000 slpm	5.0
3000 slpm	7.1	6.0''H ×5.2''W ×2.9''D	1-1/4''NPT內螺紋
5000 slpm	3.4	7.0''H ×5.2''W ×3.9''D	2''NPT內螺紋
1、見公制圖紙； 2、 與Beswick®，Swagelok®管，Parker®，表面密封，快接接頭和卡套轉接頭相兼容，也可以按照用戶需求與VCR，SAE接頭相兼容。

產品大圖

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氣體編碼

 

* 混合氣體編碼為“800”，選項中須有具體混合氣體比例說明。

* 對于液體流量計和控制器，液體指純水，液體編碼為“900”。

* ALICAT非抗腐蝕流量計/控制器產品，可支持①類氣體。

* ALICAT抗腐蝕流量控制器產品，可支持①、②類氣體。

* ALICAT抗腐蝕流量計產品，可支持①、②、③類氣體。

* 未在表中列出的氣體，也可能被測控，具體請咨詢我們。